无尘排气单元
在无尘室内使用的设备·装置等，安装在驱动部分等产生灰尘的地方，积极的进行除尘排气，降低污染的单元。
优点
用小型轴流风扇和低压损HEPA过滤器，可以过滤0.3μm的微粒子在95%以上。
因为体积小，可以在各种各样的场所进行安装，可以对非密闭性设备进行除尘处理。
通过将其安装在产生灰尘的工件搬运装置或机器人等设备上，可以不使用局部排气管而直接将其排入除尘室。
而且，控制面板散热风扇更换成相同风量的高效空气过滤器，是无尘室的除尘对策。
准高效空气净化器的规格
独立的标准，把在一定流量下直径对0.3μm的粒子的捕捉率达到95%以上的过滤器称为准高效空气净化器。
关于洁净度
对于粒径0.3μm的粒子，将粒子浓度的1/20以下的粒子排出。
洁净度通过每单位体积中所含的参考粒径的数量来表示，但是通过安装无尘排气单元，保持对颗粒浓度为20倍或更小的粉尘源的洁净度。需要注意的是根据标准，参考颗粒大小和单位体积不同。米思米的无尘排气单元的范围用下表下表的蓝色部分表示。 在半导体领域的一部分中使用0.1μm/ ft 3作为标准。
维护・检查
无尘排气单元是由HEPA滤网和风扇组成，都是消耗品。大致3~5年请更换。
HEPA滤网
过滤器堵塞风速·风量减少，当达到1／2的时候则寿命到期。
根据使用环境寿命达到3年以上的也有。
风扇
旋转异常、异响发生时，考虑寿命到期。请迅速停止运转。
各部分名称
接线图
因为加载高电压的话，有烧损的可能性，要用保险丝保护。
风扇本体有地线用接口，要进行接地。
使用环境
周围温度：-10～60℃
周围湿度：90％以下（无结露）
无直射光照射
无连续的振动·撞击
浮游粉尘以外的粉尘不能进入
